自1970年Aerotech開始研制最高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng),這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備,半導(dǎo)體加工,光子學(xué),數(shù)據(jù)存儲,激光應(yīng)用,航空和國防,電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展,以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。 Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值,我們的座右銘是:Dedicated to the Science of Motion。 ABRT超精密轉(zhuǎn)臺 1專為硅片檢測,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 3突出的速度穩(wěn)定性,波動(dòng)率低于萬分之一(電機(jī)無接頭效應(yīng)) 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 7無機(jī)械接觸 臺面直徑100-200mm 分辨率0.027-0.055arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 定位精度 <2 arc sec 異步軸跳 <20nm 異步徑跳 <20nm ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺 1. 為超高精度運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。 2. 無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),可選更高速度和力矩電機(jī)。 3. 突出的速度穩(wěn)定性。 4. 卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 5. 有效載荷達(dá)230 kg 6. 預(yù)裝有集流環(huán) 臺面直徑:146~260mm 反饋分辨率:0.02~4 arc sec 雙向重復(fù)定位精度 0.5 arc sec 定位精度 2.5 arc sec 速度波動(dòng)率 0.0001% ABRS超精密轉(zhuǎn)臺 ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺擁有一個(gè)低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位精度,卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測,高精度測量,激光衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。 特點(diǎn): 1. 無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 2. 卓越的速度穩(wěn)定性(無齒槽效應(yīng)) 3. 極佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 4. 直連式高精度圓光柵反饋 5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 6. 氣浮軸承,無機(jī)械接觸 臺面直徑:128~278mm 反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec 雙向重復(fù)定位精度:<1arc sec 定位精度: 2 arc sec 異步軸跳: 20nm 異步徑跳: 20nm ADR系列精密轉(zhuǎn)臺 ADR系列直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺提供精確的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。 特點(diǎn): 1. 無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 2. 無齒槽設(shè)計(jì)提供卓越的速度穩(wěn)定性 3. 極佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng) 4. 直連式高精度圓光柵反饋 5. 高精度機(jī)械軸承支撐 6. 最大載荷可達(dá)150kg 臺面直徑:57~240mm 反饋分辨率:0.036~13 arc sec 雙向重復(fù)定位精度: 1arc sec 定位精度: 2 arc sec 軸跳: 0.5um 徑跳: 1um AOM360D光電跟蹤轉(zhuǎn)臺 AOM360D全方位定位裝置能夠提供最精確的方位角和仰角值。軍工級品質(zhì)的電機(jī),軸承和傳感器組合而成的機(jī)架裝置保證了整體的最佳性能。AOM360D被應(yīng)用于使用傳感器和光學(xué)設(shè)備對方位角和仰角值進(jìn)行自動(dòng)檢測。其他應(yīng)用包括方位校準(zhǔn),激光束指引,目標(biāo)捕獲及跟蹤,照相機(jī)和光電望遠(yuǎn)鏡的掃描和定位。 特點(diǎn): 1. 所有軸均可360度旋轉(zhuǎn) 2. 超精確的定位精度和雙向重復(fù)定位精度 3. 超低的軸向擺動(dòng)及正交性 4. 無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 5. 高精度圓光柵反饋 6. 無齒槽設(shè)計(jì)提供卓越的速度穩(wěn)定性 7. 熱穩(wěn)定性好于0.4 arc sec/攝氏度 8. 負(fù)載直徑可達(dá)500mm,負(fù)載質(zhì)量可達(dá)50kg 9. 可以用于真空環(huán)境 負(fù)載直徑193-485mm 負(fù)載質(zhì)量 20~50kg 分辨率0.055arcsec 雙向重復(fù)定位精度1arcsec 定位精度 2 arc sec 方位角擺動(dòng) 3 arc sec 仰角擺動(dòng) 5 arc sec
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